1. Крајњи степен вакуума коморе за нагризање: Мањи или једнак 9.0×10-5Па;
2. Материјали за нагризање: силицијум, кварц, једињења ИИИ.-В, керамика и разни метали, неметални тврди филмови итд.;
3. Брзина нагризања: већа од или једнака 10 нм ~ 200 нм / мин (у зависности од специфичног материјала за нагризање и процеса);
4. Извор јона: кружни ДЦ јонски извор Φ150мм пречника;
5. Опсег енергије Ар+ јона: 100~1000 еВ;
6. Густина јонског снопа: 0~1 мА/цм2.